無塵室標準—無塵室（無塵車間）等級劃分

更新時間：2015-03-13

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無塵室標準—無塵室（無塵車間）等級劃分

無塵室（潔凈室）根據(jù)潔凈程度不同分很多等級。

目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多，數(shù)字越小，潔凈等級越高。

無塵室（潔凈室）1000級的概念是：每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能過1000顆；

無塵室（潔凈室）100級的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.3的灰塵顆粒不能過100顆；

注意了：每個等級所管控的顆粒大小也不一樣；

依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室（潔凈室）分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級；

如果無塵室（潔凈室）的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

一、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級

現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格）。其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5 以下時，表示為“等級10"。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，依次類推。

二、無塵車間-無塵室（潔凈室）標準等級

美國聯(lián)邦標準209E （1992 年）PC/ft3

潔凈度：粒徑(um)

	0.1	0.1	0.3	0.5	5.0
1	35	7.5	3	1	NA
10	350	75	30	10	NA
100	NA	750	300	100	NA
1000	NA	NA	NA	1000	7
10000	NA	NA	NA	10000	70
100000	NA	NA	NA	100000	700

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