微電子行業使用風淋室和普通的風淋室結構原理

更新時間：2014-08-21

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微電子行業使用風淋室和普通的風淋室結構原理

微電子行業使用的風淋室跟普通場所用的風淋室除了部分細節方面的設置以外，總體結構原理基本相同，微電子行業使用的風淋室對除塵效果要求相對會更高的一些，如果一個小的部件做不到位，那可能帶來的就無法估量了，在這里簡單說一下風淋室的結果原理。
1、概述：風淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設備，用于吹除進入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃，同時風淋室也起到氣閘的作用，防止未經凈化的空氣進入潔凈區域，是進行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區的有效設備。
結構：系列風淋室均采用發泡隔熱彩色壁板及鋁合金構件裝備而成，配置離心機風機及初效和空氣過濾器，具有外型美觀、結構緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。
2、原理：風淋室內的空氣由風機的作用經初效過濾器進入靜壓箱，經空氣過濾器過濾后，潔凈空氣從風淋室的噴嘴高速噴出，噴嘴角度可調節，可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃，吹下的塵埃再回收進入初效空氣過濾器，如此循環可以達到風淋的目的。
3、用途及特點:風淋室是操作人員進入潔凈室時使用的人身凈化裝置，它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進入室內人員身上的污物，其噴嘴可調節，以便有效除去人身上的灰塵，并阻止外界污染進入潔凈區域。它也可應用于大件貨物的吹淋。
4、設備組成：主要由室體、照明、過濾系統、風機組、吹嘴、電控等部分組成。
(1)、室體：壁板采用彩鋼保溫板，其內外板均為彩鋼板，中間填充60mm厚聚苯乙烯材料，PU發泡連續成型；內外板與保溫材料整體壓制而成一體。人員進出大門尺寸為(寬×高)mm：700×1800。(2)、室內照明：在室體的頂部安裝照明燈，燈管采用飛利浦光源，既安全又節能且維護方便，鎮流器采用噴房鎮流器，保證光強≥500Lx。
(3)、送排風系統：
a、送排風的配置方案采用1套送風機組，配置一臺送風機，風機采用離心風機。采用1套排風機組為室體排風。
b、萬向吹嘴：室內空氣采用設置在室體頂部和側面的萬向吹嘴吹向操作人員的不同角落，確保潔凈質量。
c、控制系統：采用或合資元器件使整個控制系統具有較高的可靠性。

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